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研究開発報告書類（JAEA-Research等）学会誌等掲載論文口頭発表特許

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論文

硬X線光電子分光による酸化膜の評価

小畠雅明; 小林啓介*

Journal of the Vacuum Society of Japan, 58(2), p.43 - 49, 2015/02

https://doi.org/10.3131/jvsj2.58.43

大きな検出深さを持つ硬X線光電子分光装置を利用した界面反応領域の深さ方向分析手法、及びこれを活用した金属電極/絶縁膜/半導体ゲートスタック構造などの多層構造に埋もれた界面の化学結合状態と電子状態について紹介する。